Rotor Sistemi
Kuru bir vakum pompasının güç çekirdeği, tipik olarak iki ila üç sarmal veya pençe-şeklindeki rotordan oluşan, tam olarak yerleştirilmiş bir rotor düzeneğidir. Bu yüksek-hassas metal rotorlar, gazı giriş portundan egzoz portuna doğru itmek için ters-dönüşten faydalanarak, mikron-düzeyde açıklıklarla birbirine bağlanır. Rotorların benzersiz profil tasarımı-dalgalı veya dairesel yay profilleri gibi-pompalama verimliliğini belirler; dönüş hızları 3.000-6.000 rpm'ye ulaşabilir ve tek{12}}aşamalı sıkıştırma oranı 10:1'i aşabilir.
Sızdırmazlık Yapısı
Yağ-sızdırmaz pompalardan farklı olarak kuru pompalar, üç-katmanlı sızdırmazlık mekanizması aracılığıyla vakum bütünlüğünü korur:
Labirent Contalar: Rotor uçlarında bulunan çok-kademeli, kıvrımlı kanallar, sızıntıyı engellemek için hava akışı direncinden yararlanır.
Gaz Bariyeri: Pnömatik basınç bariyeri oluşturmak için kritik boşluklara inert gaz enjekte edilir.
Özel Kaplamalar: Rotor yüzeyleri, hem aşınma direnci hem de azaltılmış sürtünme katsayısı sağlayan PEEK (polieter eter keton) gibi malzemelerle kaplanmıştır.
Bu tasarım özellikleri sızıntı oranını 0,5 Pa·m³/s'nin altında tutar, böylece yarı iletken üretimi gibi endüstrilerin sıkı temizlik gereksinimlerini karşılar.
Soğutma Modülü: Sürekli Çalışma için "Sıcaklık Koruyucusu"
Yağ-bazlı yağlamanın bulunmaması nedeniyle kuru pompalar akıllı bir termal yönetim sistemine ihtiyaç duyar:
Hava Soğutma: Santrifüj fanla eşleştirilmiş alüminyum alaşımlı ısı dağıtma kanatçıkları, üretilen ısının %60'ına kadar dağıtır.
Su Soğutma: Dahili bakır-borulu su sirkülasyon döngüsü, hava soğutmanınkinden üç kat daha yüksek ısı alışverişi verimliliği sağlar.
Faz-Soğutmayı Değiştir: Bazı modellerde ısı borusu teknolojisi kullanılır ve bu teknoloji, saf bakırınkinden 100 kat daha yüksek bir termal iletkenlik oranına ulaşır.
