"Küçük vakum pompası" terimi özellikle *minyatür* bir vakum pompasını ifade eder; Kompakt boyutlarından dolayı minyatür vakum pompalarına genellikle küçük vakum pompaları adı verilir. Minyatür bir vakum pompası (yani, küçük bir vakum pompası), tek bir emme portu ve tek bir egzoz portuna sahip olan, girişte sürekli olarak bir vakum veya negatif basınç üretirken aynı zamanda egzozda hafif bir pozitif basınç oluşturabilen bir cihaz olarak tanımlanır. Birincil çalışma ortamı gazdır ve küçük boyutuyla karakterize edilir.
Kapalı bir kap (başlangıçta 100 kPa standart atmosfer basıncında) minyatür bir vakum pompasına bağlanırsa ve sürekli tahliyeye tabi tutulursa, kap içindeki gaz basıncı sonunda atmosfer basıncının altına düşecek ve 60 kPa mutlak basınca ulaşacaktır. Ayrıca-özel teknik iyileştirmeler sayesinde-teknoloji, hem vakumlama hem de pompalama yapabilen çift- işlevli minyatür pompaları içerecek şekilde basit vakum-modellerinin ötesine geçmiştir (yani, egzoz portu önemli miktarda pozitif basınç üretebilir). Bu çift-işlevli pompalar, basınçlandırma, şişirme ve sistem direncinin üstesinden gelme gibi uygulamalar için kullanılır. Ek olarak, hem suyu hem de gazı idare edebilen son derece benzersiz bir minyatür pompa türü mevcuttur; Tipik olarak rölantide veya kuru çalışmasına izin verildiğinde hasar gören standart su pompalarının aksine-bu özel pompa, uzun süreli rölanti veya kuru çalışma koşulları gerektiren senaryolarda güvenilir-çalışacak şekilde tasarlanmıştır.
