Kuru vakum pompaları öncelikle aşağıdaki biçimleri alır:
İkiz-Lob Türü
İkiz-lob tipinin tasarımı, şu anda en popüler ve yaygın olarak kullanılan tür olan Roots pompasınınkine çok benzemektedir. Aslında, kuru pompa tasarımlarına yönelik en eski konseptlerden bazıları, esas olarak birden fazla Roots pompanın bir arada istiflenmesini içeriyordu. Bu çok-aşamalı tasarım, oldukça karmaşık bir gaz akış yolu ile sonuçlanır ve her aşama, hem seyreltici hem de bariyer görevi görmesi için önemli miktarda nitrojen gazı akışı gerektirir. Ayrıca yüksek derecede vakum elde etmek için kademeler arasındaki boşluklara ilişkin son derece sıkı toleranslar gereklidir. Elbette bu tasarım dahili sıkıştırma oranını arttırdığı için güç tüketimi nispeten düşüktür.
Üç-Lob Türü
Üç-lob türünün çalışma prensibi ikiz-lob türünün çalışma prensibiyle aynıdır; tek fark, tek bir dönüş sırasında gazın, ikiz-lob tasarımında olduğu gibi iki yerine üç ayrı pakete-bölünmesidir. Sonuç olarak, bu iki tasarım aynı avantaj ve dezavantajları paylaşmaktadır. Güç tüketimini daha da azaltmak için bazı üreticiler tahrik mekanizmasında iki DC motor kullanmayı tercih ediyor; ancak bu yaklaşım aynı zamanda torkun azalmasına ve pompanın yeniden başlatılması kapasitesinin azalmasına neden olur. İkiz-lob tasarımında olduğu gibi, üç-lob tasarımının her aşaması, seyreltme ve izolasyon işlevlerini gerçekleştirmek için önemli miktarda nitrojen gazı akışı gerektirir.
Hibrit Tip (Kökler + Pençe)
Hibrit (Kökler + Pençe) tasarımı, düşük basınç seviyelerinde pompalama verimliliğini artırmak için Kökler aşamasını kullanırken, daha yüksek basınç seviyelerinde verimliliği artırmak için Pençe aşamasını kullanır. Temel çalışma prensipleri ve gaz akış yolu, yukarıda bahsedilen lob-tipi tasarımlarla aynıdır. Ancak bazı üreticiler son aşamayı "yıldız-tipi" bir tasarımla değiştirmeyi tercih ediyor; bu yapılandırma, gazın, üç-lob tasarımının onu üçe bölmesine benzer şekilde, dönüş başına beş ayrı pakete bölünmesine olanak tanır-. Benzer şekilde, birçok karmaşık proses uygulamasında hibrit tasarımın her aşaması, seyreltici ve bariyer görevi görmesi için önemli miktarda nitrojen gazı akışı gerektirir.
Dış Sıkıştırma Vidalı Tip
Harici sıkıştırma vidası-tipi tasarımda bir çift eşit mesafeli vida kullanılır. Bu konfigürasyon, dahili sıkıştırmayı en aza indirirken aynı zamanda mümkün olan en kısa ve en basit gaz akış yolunu oluşturur. Sonuç olarak, gazın pompa odasında kalma süresi mutlak minimumda tutulur. Bu tasarım, azaltılmış dahili sıkıştırma oranı nedeniyle nispeten daha yüksek güç tüketimi gerektirse de, çok çeşitli karmaşık yarı iletken üretim süreçlerinde olağanüstü stabilite ve güvenilirlik gösterir. Bu tek-aşamalı tasarım, nitrojen tüketimine ilişkin minimum ve basit gereklilikleri zorunlu kılarak, çeşitli süreçler arasında mükemmel bir değiştirilebilirlik sağlar. Pek çok temiz proseste nitrojen kullanımından tamamen vazgeçilebilir.
İçten Sıkıştırmalı Vidalı Pompalar
Bir çift izoparametrik olmayan vida kullanmanın yanı sıra, içten sıkıştırmalı vidalı pompa tasarımının temel çalışma prensipleri, dışarıdan sıkıştırmalı vidalı pompa tasarımına oldukça benzer. Vidalar arasındaki hacmin sürekli azalması dahili sıkıştırma oluşturur. Bu tasarım, bu dahili sıkıştırmayı kolaylaştırarak güç tüketimini çok-kademeli pompalarla karşılaştırılabilir bir seviyeye düşürür. Bununla birlikte, birçok işlemde-tıpkı çok-kademeli pompalarda olduğu gibi-bu dahili sıkıştırma, pompa gövdesi içindeki gazda fizikokimyasal değişikliklere yol açmaya oldukça yatkındır ve potansiyel olarak katılaşmaya veya sıvılaşmaya yol açar.
