Üstün Vakum: Kuru vidalı vakum pompaları, tırnaklı vakum pompaları ve yağsız{0}} kaydırmalı vakum pompalarının tümü, 1–2 Pa'ya ulaşan maksimum limitlerle çok yüksek düzeyde nihai vakum elde eder. Bununla birlikte, yağsız pistonlu vakum pompaları, kaba vakum cihazları olarak sınıflandırılır; daha düşük bir nihai vakum kapasitesine sahiptirler ve daha yüksek bir vakum seviyesine ulaşmak için tipik olarak bir Roots vakum pompasıyla eşleştirilmeleri gerekir.
Pompalama Hızı: İç yapısal tasarımları nedeniyle, yağsız-kaydırma vakum pompaları nispeten düşük bir pompalama hızına sahiptir ve bu nedenle yalnızca düşük pompalama hacimleri gerektiren işlemler için uygundur. Kuru vidalı vakum pompaları ise yüksek pompalama hacimlerine sahip prosesleri idare edebilen kapsamlı bir model yelpazesinde mevcuttur; Roots vakum pompasıyla eşleştirildiğinde çeşitli müşterilerin farklı gereksinimlerini etkili bir şekilde karşılayabilirler.
Kararlılık: Kuru vidalı vakum pompaları istikrarlı performans, düşük gürültü seviyeleri ve düşük arıza oranı sunar. Yağsız pistonlu vakum pompaları basit bir yapıya sahiptir ancak daha yüksek gürültü seviyeleri üretir ve kayan kanatların sık sık değiştirilmesini gerektirir. Pençe vakum pompaları, karmaşık montajları nedeniyle-özellikle rotor ve şaftın tek bir ünite olarak entegre olmaması nedeniyle-bir arıza durumunda tamamen sökülüp yeniden takılmasını gerektirir; bu tekrarlanan montaj işlemi ürünün genel performansını ve stabilitesini tehlikeye atabilir.
Özel İşlem: Kimyasallar ve farmasötikler gibi endüstrilerdeki proses gazları sıklıkla değişen derecelerde yanıcı, patlayıcı veya aşındırıcı bileşenler içerdiğinden, bu ortamlarda kullanılan kuru vakum pompaları özel işlem gerektirir. Kuru vidalı vakum pompaları basit bir iç yapıya sahiptir; burada hem rotorlar hem de pompa odası korozyon önleyici işleme tabi tutulabilir; mevcut seçenekler arasında nikel-fosfor kaplama ve Teflon kaplamalar yer alır. Pençe vakum pompalarının korozyon direnci açısından iyileştirilmesi zordur; özellikle, çeşitli aşamalar arasındaki bölmelere yüzey işlemleri uygulamak neredeyse imkansızdır ve rotor yüzeyindeki-korozyon önleyici kaplama, montaj işlemi sırasında hasara karşı oldukça hassastır. Yağsız kaydırmalı vakum pompaları yalnızca temiz gazların pompalanması için uygundur ve yanıcı, patlayıcı veya aşındırıcı gazların pompalanması için kullanılamaz.
